De luchttoevoerpoort van het HEPA-luchtfilter bestaat uit een HEPA-filter en een ventilatorpoort. Het bevat ook componenten zoals een statische-drukkast en een diffusorplaat. Het HEPA-filter is geïnstalleerd in de...
Introductie van het primaire filter. Het primaire filter is geschikt voor de primaire filtratie van airconditioningsystemen en wordt voornamelijk gebruikt om stofdeeltjes boven 5 μm te filteren. Het primaire filter heeft drie ...
Luchtvochtigheid is een veelvoorkomende omgevingsconditie in cleanrooms. De streefwaarde voor de relatieve vochtigheid in de cleanroom voor halfgeleiders ligt tussen 30 en ...
Ten eerste, bepaal de efficiëntie van luchtfilters op alle niveaus. Het laatste niveau van het luchtfilter bepaalt de zuiverheid van de lucht, en het voorfilter speelt een beschermende rol, waardoor de en...